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對于不同類別的氣體,純度指標不同,例如對于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.999%即可稱高純氧;對于碳氫化合物,純度為99.999%的即可認為是高純氣體。高